一种新型梁膜复合结构MEMS压阻式压力传感器设计 1

日期：2026-05-18 分类：产品知识浏览：153 来源：广东佑风微电子有限公司

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）压阻式压力传感器是通过在微米尺度加工加工技术制造出等离子体的梁膜结构来实现测量压力变化的设备。这种传感器的设计中，CY7C68001-56LFXC梁膜结构是关键部件之一，它承受外界压力，通过梁膜的变形程度来反映被测压力的大小。本文旨在提出一种新型的梁膜复合结构，以提高其传感性能和稳定性。